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真空退火爐是如何進行開爐及停爐的
類別:行業(yè)新聞 發(fā)布時間:2023-06-09 10:38:10 瀏覽:
真空退火爐的開爐和停爐操作如下:
開爐:
1.首先檢查爐子是否有異常狀況,如清除殘留物質等。
2.啟動機械設備,打開真空泵進氣閥和進氣室閥門。打開冷卻水閥并調節(jié)好壓力和水溫。
3.將樣品或襯底放到爐子內,并關閉爐門。
4.打開真空泵開關,開始抽真空。當真空度達到要求后,關閉真空泵進氣閥和進氣室閥門。
5.打開加熱控制系統的開關,調節(jié)溫度和時間等參數,開始加熱處理。
停爐:
1.將加熱控制系統設定為0溫度。
2.關閉冷卻水閥,并允許爐子冷卻至安全范圍內。
3.打開真空泵進氣閥和進氣室閥門,開始通氣。
4.等待真空度下降至安全范圍,關閉真空泵開關。
5.打開爐門,取出樣品或襯底。清空爐內雜物等,檢查爐子是否有異常狀況。
6.關閉進氣閥和進氣室閥門,關閉機械設備。
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