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2020-10
真空退火爐是如何進(jìn)行開爐及停爐的
真空退火爐的開爐和停爐操作如下：開爐：1.首先檢查爐子是否有異常狀況，如清除殘留物質(zhì)等。2.啟動機(jī)械設(shè)備，打開真空泵進(jìn)氣閥和進(jìn)氣室閥門。打開冷卻水閥并調(diào)節(jié)好壓力和水溫。3.將樣品或襯底放到爐子內(nèi)，并關(guān)閉爐門。4.打開真空泵開關(guān)，開始抽真空。當(dāng)真空度達(dá)到要求后，關(guān)閉真空泵進(jìn)氣閥和進(jìn)氣室閥門。5.打開加熱控制系統(tǒng)的開關(guān)，調(diào)...
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